SJ/T 10152-1991 集成电路主要工艺设备术语电子行业标准(SJ)-工标网

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标准简介

本标准规定了半寻体集成电路制造工序主要生产设备的有关术语及定义。
本标准适用于半导体集成电路制造工序主要生产设备的研究、生产、使用、检验、教学和技术交流。


英文名称：	Terms relating to main equipment for integrated circuit technologies
标准状态：	已废止
替代情况：	公告：中华人民共和国工业和信息化部公告 2024年第17号
中标分类：	医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理
发布日期：	1991-04-02
实施日期：	1991-07-01
作废日期：	2024-07-11
复审日期：	2024-07-11
页数：	68页

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