钢表面纳米、亚微米尺度薄膜 素深度分布的定量测定 辉光放电原子发射光谱法 |
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| 标准编号：GB/T 22462-2008 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：38.0 元 |
客户评分：  |
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本标准采用辉光放电原子发射光谱法用于定量测定钢表面纳米、亚微米尺度薄膜（金属镀膜和氧化膜）中膜厚、镀层质量（单位面积）和薄膜中的元素深度分布。
本方法适用于测定3nm～1000nm厚度的钢表面薄膜，适用的元素包括：铁、铬、镍、铜、钛、锰、铝、碳、磷、氧、氮和硅。 |
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| 英文名称： |
Nano Sub-micron scale film on steel - Quantitative depth profile analysis - Glow discharge atomic emission spectrometry |
 中标分类： |
化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法 |
| ICS分类： |
计量学和测量、物理现象>>17.180光学和光学测量 |
| 采标情况： |
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| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2008-10-30 |
| 实施日期： |
2009-06-01
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| 首发日期： |
2008-10-30 |
| 提出单位： |
全国微束分析标准化技术委员会 |
| 归口单位： |
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 主管部门： |
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38) |
| 起草单位： |
宝山钢铁股份有限公司、中国科学院物理研究所、中国科学院化学研究所、冶金工业信息标准研究院 |
| 起草人： |
张毅、陈英颖、沈电洪、刘芬、何晓蕾、邬君飞、栾燕 |
| 计划单号： |
20075696-T-469 |
| 页数： |
20页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2009-06-01 |
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本标准的附录A、附录B均为资料性附录,附录C 为规范性附录。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)归口。
本标准负责起草单位:宝山钢铁股份有限公司、中国科学院物理研究所、中国科学院化学研究所、冶金工业信息标准研究院。
本标准主要起草人:张毅、陈英颖、沈电洪、刘芬、何晓蕾、邬君飞、栾燕。 |
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前言Ⅲ
1 范围1
2 规范性引用文件1
3 术语和定义1
4 原理1
5 仪器2
5.1 概述2
5.2 仪器性能要求2
6 样品制备3
7 分析步骤3
7.1 谱线的选择3
7.2 优化辉光放电原子发射光谱仪的放电参数3
7.3 工作曲线5
7.4 工作曲线的确认7
7.5 漂移校正8
7.6 样品分析8
8 分析结果的表示8
8.1 定量深度剖析的表示8
8.2 膜厚和镀层质量(单位面积)的测定9
9 精密度9
10 试验报告9
附录A (资料性附录) 推荐的元素特征谱线波长10
附录B (资料性附录) 常见的氧化物密度11
附录C (规范性附录) 共同实验附加资料12 |
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下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版本均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
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