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机械行业标准(JB)
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真空技术 溅射离子泵
标准编号：
JB/T 4081-2011
标准状态：
现行
标准价格：
18.0
元
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标准简介
本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。
本标准适用于普通型式的溅射离子泵。
英文名称：
Vacuum technology － Sputter-ion pumps
替代情况：
替代
JB/T 4081-1991
;
JB/T 4082-1991
中标分类：
机械
>>
通用机械与设备
>>
J78真空技术与设备
ICS分类：
流体系统和通用件
>>
23.160真空技术
发布部门：
中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：
2011-12-20
实施日期：
2012-04-01
归口单位：
全国真空技术标委会
起草单位：
北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所
出版社：
机械工业出版社
出版日期：
2012-04-01
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