真空技术 溅射离子泵 |
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| 标准编号：JB/T 4081-2011 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：18.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。
本标准适用于普通型式的溅射离子泵。 |
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