扫描探针显微镜校准规范 |
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| 标准编号：JJF 1351-2012 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：21.0 元 |
客户评分：  |
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本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。
扫描探针显微镜根据其设计原理不同,校准时需要根据实际情况选择相关的计量特性。对有特殊要求的测量任务,如对溯源要求较高的测量,不在本校准规范的适用范围。 |
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| 英文名称： |
Calibration Specification for Scanning Probe Microscopes |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 |
| 发布日期： |
2012-06-18 |
| 实施日期： |
2012-09-18
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 归口单位： |
全国几何量长度计量技术委员会 |
| 主管部门： |
全国几何量长度计量技术委员会 |
| 起草单位： |
中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所、上海计量测试技术研究院、贵州计量测试院等 |
| 起草人： |
朱振宇、任冬梅等 |
| 页数： |
20页 |
| 出版社： |
中国质检出版社 |
| 出版日期： |
2012-09-18 |
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本规范为初次发布。制定本规范的目的主要是解决工业中扫描探针显微镜校准问题。规范编制中参考了国际上纳米计量领域的一些理论性研究成果,并以实际纳米计量工作中的一些实验数据为基础制定了本规范。 |
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x引言 (Ⅱ)
1 范围 (1)
2 引用文件 (1)
3 术语和定义 (1)
3.1 扫描探针显微镜 (1)
3.2 扫描探针显微镜Z 向漂移 (1)
4 概述 (1)
5 计量特性 (2)
5.1 扫描探针显微镜Z 向漂移 (2)
5.2 X、Y 轴位移测量误差 (2)
5.3 Z 轴位移测量误差 (2)
5.4 扫描探针显微镜测量重复性 (2)
5.5 X、Y 坐标正交性误差 (2)
6 校准条件 (2)
6.1 环境条件 (2)
6.2 标准器 (2)
7 校准项目和校准方法 (3)
7.1 扫描探针显微镜Z向漂移 (3)
7.2 X、Y 轴位移测量误差 (4)
7.3 Z 轴位移测量误差 (5)
7.4 扫描探针显微镜测量重复性 (6)
7.4.1 X、Y 轴测量重复性 (6)
7.4.2 Z轴测量重复性 (6)
7.5 X、Y 坐标正交性误差 (6)
8 校准结果表达 (7)
9 复校时间间隔 (7)
附录A 扫描探针显微镜校准结果的测量不确定度评定 (8) |
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本规范引用下列文件:
JJF1001—2011 通用计量术语及定义
GB/T19067.1—2003 产品几何量技术规范(GPS)表面结构 轮廓法 测量标准 第1部分:实物测量标准
凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本规范。 |
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