集成电路器件用镍钒合金靶材 |
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| 标准编号：YS/T 936-2013 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：21.0 元 |
客户评分：  |
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本标准有现货可当天发货一线城市最快隔天可到！ |
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本标准规定了集成电路器件用镍钒合金溅射靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同或订货单内容。
本标准适用于电子薄膜制造用的各类镍钒合金溅射靶材。 |
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| 英文名称： |
Sputtering nickel vanadium alloy target used in integrated circuit device |
 中标分类： |
冶金>>有色金属及其合金产品>>H62重金属及其合金 |
| ICS分类： |
冶金>>有色金属产品>>77.150.40镍和铬产品 |
| 发布部门： |
中华人民共和国工业和信息化部 |
| 发布日期： |
2013-10-17 |
| 实施日期： |
2014-03-01
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| 归口单位： |
全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243) |
| 主管部门： |
全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243) |
| 起草单位： |
有研亿金新材料股份有限公司等 |
| 起草人： |
董亭义、何金江、刘红宾、张涛、姚力军、王学泽、向磊、徐学礼、朱晓光、丁照崇、吕超、雷继峰、熊晓东、张殿凯、李娜 |
| 页数： |
20页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2014-03-01 |
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本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC243)归口。
本标准负责起草单位:有研亿金新材料股份有限公司。
本标准参加起草单位:北京有色金属研究总院、宁波江丰电子材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。
本标准主要起草人:董亭义、何金江、刘红宾、张涛、姚力军、王学泽、向磊、徐学礼、朱晓光、丁照崇、吕超、雷继峰、熊晓东、张殿凯、李娜。 |
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