GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法国家标准(GB)-工标网

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标准简介

本标准规定了使用原子力显微镜(AFM)测量表面粗糙度的方法。
本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra 小于100nm 的薄膜。
其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。


英文名称：	Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films
中标分类：	机械>>机械综合>>J04基础标准与通用方法
ICS分类：	计量学和测量、物理现象>>长度和角度测量>>17.040.20表面特征
发布部门：	中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会
发布日期：	2014-09-30
实施日期：	2015-04-15
提出单位：	中国科学院
归口单位：	全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)
起草单位：	上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心
起草人：	李慧琴、梁齐、路庆华、何丹农、张冰
页数：	12页
出版社：	中国标准出版社
出版日期：	2015-04-15

前言

本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由中国科学院提出。
本标准由全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)归口。
本标准起草单位:上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心。
本标准起草人:李慧琴、梁齐、路庆华、何丹农、张冰。

引用标准

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