|
英文名称: |
Quartz tube covered in a film for PECVD |
中标分类: |
建材>>陶瓷、玻璃>>Q35石英玻璃 |
ICS分类: |
玻璃和陶瓷工业>>玻璃>>81.040.30玻璃产品 |
发布部门: |
中华人民共和国工业和信息化部 |
发布日期: |
2014-10-14 |
实施日期: |
2015-04-01
|
归口单位: |
全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC 447) |
主管部门: |
全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC 447) |
起草单位: |
上海强华石英有限公司、久智光电子材料科技有限公司、上海神舟新能源发展有限公司 |
起草人: |
张葆青、白凤茹、周文华、黄良吉、陈平 |
出版社: |
建材工业出版社 |
出版日期: |
2015-04-01 |