俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则 |
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| 标准编号：GB/T 31470-2015 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：29.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了俄歇电子能谱和部分类型的 X射线光电子能谱检测信号对应样品区域的确定方法。
本标准适用于俄歇电子能谱仪和具有以下条件的 X射线光电子能谱:入射 X光束激发的样品区域
大于分析器可检测到的样品区域;光电子从样品到分析器入口的过程中经过自由空间;装配有辅助电子
枪可以产生一束可变能量的电子束照射到样品上。 |
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| 英文名称： |
Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers |
 中标分类： |
仪器、仪表>>电工仪器仪表>>N26综合测试系统 |
| ICS分类： |
计量学和测量、物理现象>>电学、磁学、电和磁的测量>>17.220.20电和磁量值的测量 |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2015-05-15 |
| 实施日期： |
2016-01-01
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| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203) |
| 起草单位： |
信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司 |
| 起草人： |
李雨辰、何秀坤、刘筠、刘兵、李翔 |
| 页数： |
12页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2016-01-01 |
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本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司。
本标准主要起草人:李雨辰、何秀坤、刘筠、刘兵、李翔。 |
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GB/T22461—2008 表面化学分析 词汇(ISO18115:2001,IDT)
SJ/T10458—1993 俄歇电子能谱术和 X射线光电子能谱术的样品处理标准导则 |
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