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俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则

国家标准
标准编号:GB/T 31470-2015 标准状态:现行
标准价格:29.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了俄歇电子能谱和部分类型的 X射线光电子能谱检测信号对应样品区域的确定方法。
本标准适用于俄歇电子能谱仪和具有以下条件的 X射线光电子能谱:入射 X光束激发的样品区域
大于分析器可检测到的样品区域;光电子从样品到分析器入口的过程中经过自由空间;装配有辅助电子
枪可以产生一束可变能量的电子束照射到样品上。
英文名称:  Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers
什么是中标分类? 中标分类:  仪器、仪表>>电工仪器仪表>>N26综合测试系统
什么是ICS分类?  ICS分类:  计量学和测量、物理现象>>电学、磁学、电和磁的测量>>17.220.20电和磁量值的测量
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:  2015-05-15
实施日期:  2016-01-01
提出单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)
起草单位:  信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司
起草人:  李雨辰、何秀坤、刘筠、刘兵、李翔
页数:  12页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2016-01-01
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前言
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司。
本标准主要起草人:李雨辰、何秀坤、刘筠、刘兵、李翔。
引用标准
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T22461—2008 表面化学分析 词汇(ISO18115:2001,IDT)
SJ/T10458—1993 俄歇电子能谱术和 X射线光电子能谱术的样品处理标准导则
本标准相关公告
·中华人民共和国国家标准批准发布公告2015年第15号 [2015-05-21]

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