溅射用钽靶材 |
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| 标准编号：YS/T 1024-2015 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：16.0 元 |
客户评分：  |
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本标准有现货可当天发货一线城市最快隔天可到！ |
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本标准规定了用以制备薄膜的溅射用钽靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。
本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯钽锭为原料,通过塑性加工、热处理、机械加工、焊接等方法制造的溅射用钽靶材。 |
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| 英文名称： |
Tantalum sputtering targets |
 中标分类： |
冶金>>有色金属及其合金产品>>H63稀有高熔点金属及其化合物 |
| ICS分类： |
冶金>>有色金属产品>>77.150.99其他有色金属产品 |
| 发布部门： |
中华人民共和国工业和信息化部 |
| 发布日期： |
2015-04-30 |
| 实施日期： |
2015-10-01
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| 提出单位： |
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243) |
| 归口单位： |
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243) |
| 主管部门： |
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243) |
| 起草单位： |
宁夏东方钽业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司、西安方科新材料科技有限公司 |
| 起草人： |
钟景明、李桂鹏、汪凯、李兆博、姚力军、熊晓东、王莉、宿康宁、王小青、杜铁路 |
| 页数： |
12页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2015-10-01 |
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本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。
本标准起草单位:宁夏东方钽业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司、西安方科新材料科技有限公司。
本标准主要起草人:钟景明、李桂鹏、汪凯、李兆博、姚力军、熊晓东、王莉、宿康宁、王小青、杜铁路。 |
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