真空技术 真空系统漏率测试方法 |
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标准编号:GB/T 32218-2015 |
标准状态:现行 |
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标准价格:38.0 元 |
客户评分: |
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本标准规定了利用氦质谱法和升压法对真空系统的漏率进行测试的测试原理、仪器与设备、测试条件、测试程序、漏率测试中断处理、测试记录与测试报告。
本标准适用于真空系统(以下简称被检件)的漏率测试。 |
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英文名称: |
Vacuum technology—Test methods for leak rates of vacuum system |
中标分类: |
机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备 |
ICS分类: |
流体系统和通用件>>23.160真空技术 |
发布部门: |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
发布日期: |
2015-12-10 |
实施日期: |
2017-01-01
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复审日期: |
2023-12-28 |
提出单位: |
中国机械工业联合会 |
归口单位: |
全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18) |
主管部门: |
全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18) |
起草单位: |
中国空间技术研究院兰州空间技术物理研究所。 |
起草人: |
李得天、肖祥正、陈光奇、王荣宗、陈联、孙立臣、闫荣鑫、言继春、黄文平、刘磊、王国东、何小波、范林东、赵计春、赵伟胜、惠泽民、王玲玲。 |
页数: |
20页 |
出版社: |
中国标准出版社 |
出版日期: |
2017-01-01 |
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本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由中国机械工业联合会提出。
本标准由全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC18)归口。
本标准负责起草单位:中国空间技术研究院兰州空间技术物理研究所。
本标准参加起草单位:北京卫星环境工程研究所、湖南维格磁流体股份有限公司、安徽皖仪科技股份有限公司、宁波爱发科真空技术有限公司、成都南光机器有限公司、台州环球真空设备制造有限公司、上海惠丰石油化工有限公司、沈阳真空技术研究所。
本标准主要起草人:李得天、肖祥正、陈光奇、王荣宗、陈联、孙立臣、闫荣鑫、言继春、黄文平、刘磊、王国东、何小波、范林东、赵计春、赵伟胜、惠泽民、王玲玲。 |
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前言 Ⅲ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 测试原理 1
4.1 氦质谱法真空系统漏率测试原理 1
4.2 静态升压法真空系统漏率测试原理 2
5 仪器与设备 2
5.1 检漏仪和检漏系统 2
5.2 标准漏孔 2
5.3 真空计 2
5.4 氦罩 2
5.5 累积阀 2
5.6 测试阀 2
6 测试条件 2
6.1 测试场地的环境要求 2
6.2 氦气 3
6.3 氮气 3
7 测试程序 3
7.1 测试前准备 3
7.2 氦质谱法真空系统漏率测试 3
7.3 静态升压法真空系统漏率测试 10
8 漏率测试中断处理 11
8.1 氦质谱漏率测试的中断处理 11
8.2 静态升压法漏率测试的中断处理 11
9 测试记录与报告 11
9.1 测试记录 11
9.2 测试报告 12
参考文献 13 |
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GB/T3163 真空技术 术语
GB/T3864—2008 工业氮
GB/T4844—2011 纯氦、高纯氦和超纯氦
GB/T18193 真空技术 质谱检漏仪校准 |
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