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外延钉缺陷的检验方法

国家标准
标准编号:YS/T 24-2016 标准状态:现行
标准价格:14.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了外延钉缺陷的检验方法。
本标准适用于判断硅外延片上是否存在高度不小于4μm的钉缺陷。如果钉缺陷比较少且彼此不相连,本标准可用于钉缺陷的计数。本标准不能测量钉缺陷的高度。
英文名称:  Test methods for spike of epitaxial layers
什么是替代情况? 替代情况:  替代YS/T 24-1992
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  冶金>>77.040金属材料试验
发布部门:  中华人民共和国工业和信息化部
发布日期:  2016-04-05
实施日期:  2016-09-01
提出单位:  全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
什么是归口单位? 归口单位:  全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
主管部门:  全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
起草单位:  南京国盛电子有限公司、有研半导体材料有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
起草人:  马林宝、杨帆、孙燕、徐新华
页数:  8页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2016-09-01
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