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电子束蒸发台完好要求和检查评定方法

标准
标准编号:SJ/T 31084-1994 标准状态:已废止
标准价格:8.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了电子束蒸发台的完好要求和检查、评定方法。
本标准适用于400SC3036型和EBX-12C电子束蒸发台,也适用于CL680型、HCV-12p-70A型蒸发台。
标准状态:  已废止
什么是替代情况? 替代情况:  公告:中华人民共和国工业和信息化部公告 2024年第17号
什么是中标分类? 中标分类:  电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L96表面防护设备
实施日期:  1997-01-01
作废日期:  2024-07-11
复审日期:  2024-07-11
页数:  3页
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