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硅片边缘轮廓检验方法

国家标准
标准编号:YS/T 26-2016 标准状态:现行
标准价格:18.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了硅片边缘轮廓(包含切口)的检验方法。
本标准适用于检验倒角硅片的边缘轮廓(包含切口),砷化镓等其他材料晶片边缘轮廓的检验可参照本标准执行。
英文名称:  Test methods for edge contour of silicon wafers
什么是替代情况? 替代情况:  替代YS/T 26-1992
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  冶金>>77.040金属材料试验
发布部门:  中华人民共和国工业和信息化部
发布日期:  2016-07-11
实施日期:  2017-01-01
提出单位:  全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
什么是归口单位? 归口单位:  全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
主管部门:  工业和信息化部
起草单位:  洛阳单晶硅集团有限责任公司、有研半导体材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司
起草人:  田素霞、李战国、苗利刚、焦二强、安瑞阳、邵成波、王文卫
页数:  12页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2018-08-01
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本标准相关公告
·中华人民共和国行业标准备案公告 2016年(第11号) [2017-01-04]
·中华人民共和国工业和信息化部公告 2016年(第37号) [2016-07-29]

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