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电子工业用气体 三氟甲烷

国家标准
标准编号:GB/T 34085-2017 标准状态:现行
标准价格:29.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了电子工业用三氟甲烷的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以二氟一氯甲烷、三氯甲烷和氟化氢为原料制备的三氟甲烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。
英文名称:  Gas for electronic industry—Trifluoromethane
什么是中标分类? 中标分类:  化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
什么是ICS分类?  ICS分类:  化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:  2017-07-31
实施日期:  2017-11-01
提出单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
起草单位:  国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、广东华特气体股份有限公司、浙江巨化股份有限公司、高麦仪器公司、浙江省化工研究院、中昊光明化工研究设计院有限公司、大连大特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司等
起草人:  陈熔、林宇巍、傅铸红、杜汉盛、叶红艳、牛艳东、史婉君、孙福楠、曲庆、方华、王鸿、崔学文、周朋云
页数:  12页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2017-08-01
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本标准相关公告
·中华人民共和国国家标准批准发布公告2017年第20号 [2017-08-02]

工业气体与化学气体相关标准 第1页 第2页 
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工业气体相关标准 第1页 第2页 第3页 
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