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| 英文名称： |
Test method for measuring etch pit density(EPD) in low dislocation density monocrystalline germanium slices |
 中标分类： |
冶金>>金属理化性能试验方法>>H25金属化学性能试验方法 |
| ICS分类： |
冶金>>77.040金属材料试验 |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2017-10-14 |
| 实施日期： |
2018-07-01
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| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) |
| 起草单位： |
云南中科鑫圆晶体材料有限公司、云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、中科院半导体研究所 |
| 起草人： |
惠峰、普世坤、董汝昆 |
| 页数： |
8页【彩图】 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |