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| 英文名称： |
Information model for containing process chamber IC equipment design |
 中标分类： |
机械>>机械综合>>J07电子计算机应用 |
| ICS分类： |
信息技术、办公机械设备>>信息技术应用>>35.240.50信息技术在工业上的应用 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2019-08-30 |
| 实施日期： |
2020-03-01
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| 提出单位： |
中国机械工业联合会 |
| 归口单位： |
全国自动化系统与集成标准化技术委员会(SAC/TC 159) |
| 起草单位： |
中车信息技术有限公司、清华大学、北京机械工业自动化研究所有限公司、中国石油规划总院 |
| 起草人： |
顾明、程嘉、李丽、季林红、陈莉、曹自立、张颖、黎晓东、王海丹、王峰 |
| 页数： |
20页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2019-08-01 |