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| 英文名称： |
Measurement method for nano positioning and scanning stage based on flexure hinge mechanism and piezo actuator |
 中标分类： |
仪器、仪表>>工业自动化仪表与控制装置>>N10工业自动化与控制装置综合 |
| ICS分类： |
综合、术语学、标准化、文献>>词汇>>01.040.39精密机械、珠宝 (词汇) |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2020-04-28 |
| 实施日期： |
2020-11-01
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| 提出单位： |
全国电子测量仪器标准化技术委员会(SAC/TC 153) |
| 归口单位： |
全国电子测量仪器标准化技术委员会(SAC/TC 153) |
| 起草单位： |
沈阳建筑大学、三英精控(天津)仪器设备有限公司、广东工业大学、中国计量科学研究院、苏州昊通仪器科技有限公司、沈阳理工大学 |
| 起草人： |
须颖、戴敬、邵萌、安冬、施玉书、贾静、戴超、文杰、石怀涛 |
| 页数： |
20页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2020-04-01 |