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集成电路用高纯铜合金靶材

国家标准
标准编号:GB/T 39159-2020 标准状态:现行
标准价格:31.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了集成电路用高纯铜合金靶材(以下简称靶材)的分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。
本标准适用于集成电路制造用的高纯铜铝(CuAl)合金靶材和高纯铜锰(CuMn)合金靶材。
英文名称:  High purity copper alloy target for integrated circuit
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>有色金属及其合金产品>>H62重金属及其合金
什么是ICS分类?  ICS分类:  冶金>>有色金属产品>>77.150.30铜产品
发布部门:  国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:  2020-11-19
实施日期:  2021-10-01
提出单位:  中国有色金属工业协会
什么是归口单位? 归口单位:  全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
起草单位:  宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波微泰真空技术有限公司
起草人:  曹欢欢、袁海军、姚力军、王学泽、曾浩、边逸军、钟伟华、周友平、贺昕、慕二龙、高岩、江伟龙
页数:  16页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2020-11-01
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