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微纳米标准样板(几何量)

国家标准
标准编号:GB/T 39516-2020 标准状态:现行
标准价格:43.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了微纳米标准样板(几何量)的术语和定义、型式与基本参数、要求、检查条件、检查方法、标志、运输及储存等。
本标准适用于线间隔为0.05 μm~10 μm的微纳米线间隔标准样板、台阶高度为0.01 μm~100 μm的微纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度为2 nm~1 000 nm的纳米膜厚标准样板和线宽为25 nm~1 000 nm的纳米线宽标准样板。
英文名称:  Micro nano standard samples (geometric)
什么是中标分类? 中标分类:  机械>>工艺装备>>J42量具与量仪
什么是ICS分类?  ICS分类:  计量学和测量、物理现象>>长度和角度测量>>17.040.30测量仪器仪表
发布部门:  国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:  2020-11-19
实施日期:  2021-06-01
提出单位:  中国机械工业联合会
什么是归口单位? 归口单位:  全国量具量仪标准化技术委员会(SAC/TC 132)
起草单位:  中国电子科技集团公司第十三研究所、成都工具研究所有限公司、广西壮族自治区计量检测研究院、中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、中国计量大学、珠海市怡信测量科技有限公司
起草人:  李锁印、付兴昌、梁法国、韩志国、赵琳、冯亚南、许晓青、张晓东、姜志刚、许刚、苏冀雄、张恒、雷李华、赵军、张松涛、蔡潇雨、傅云霞
页数:  24页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2020-11-01
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