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集成电路用过氧化氢

国家标准
标准编号:T/ICMTIA 2-2019 标准状态:现行
标准价格:24.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了集成电路用过氧化氢(H2O2)的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于集成电路制造过程中使用的过氧化氢。
分子式:H2O2
相对分子质量:34.01(按2011年国际相对原子质量)
英文名称:  Hydrogen peroxide for intergrated circuits
什么是中标分类? 中标分类:  化工>>化学试剂>>G64高纯试剂、高纯物质
什么是ICS分类?  ICS分类:  化工技术>>无机化学>>71.060.20氧化物
发布部门:  中关村集成电路材料产业技术创新联盟
发布日期:  2019-04-17
实施日期:  2019-10-10
提出单位:  集成电路材料产业技术创新联盟(ICMtia)
什么是归口单位? 归口单位:  集成电路材料产业技术创新联盟(ICMtia)
起草单位:  苏州晶瑞化学股份有限公司、同济大学、北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司、中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、黎明化工研究设计院有限责任公司
起草人:  刘兵、钱森林、王洪华、傅华、高小云、康劲、葛军、赵健、柴春玲、赵晓东、张惠平
页数:  24页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2021-08-01
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