晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备 第2部分：板式 PECVD 设备 |
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| 标准编号：SJ/T 11829.2-2022 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：0.0 元 |
客户评分：  |
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本文件规定了晶体硅光伏电池用板式等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备的术语和定义、型号命名、工作环境、要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。适用于晶体硅光伏电池用板式 PECVD 设备。
本文件适用于沉积多种薄膜材料，例如，非晶硅（a-Si:H）、微晶硅（μc-Si:H）、二氧化硅（SiO2）、氧化铝（Al2O3）、氮化硅（SiNx）薄膜等本征薄膜以及各种掺杂薄膜材料等，薄膜光伏电池、柔性光伏电池用 PECVD 设备也可参照使用。 |
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| 发布部门： |
中华人民共和国工业和信息化部 |
| 发布日期： |
2022-09-30 |
| 实施日期： |
2023-01-01
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