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| 英文名称： |
Nanotechnology—Fabrication of three dimensional nanostructures and devices—A strain method induced by ion beam irradiation |
 中标分类： |
综合>>基础学科>>A42物理学与力学 |
| ICS分类： |
数学、自然科学>>07.030物理学、化学 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2022-12-30 |
| 实施日期： |
2023-07-01
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| 提出单位： |
中国科学院 |
| 归口单位： |
全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279) |
| 起草单位： |
中国科学院物理研究所、国家纳米科学中心、深圳市标准技术研究院 |
| 起草人： |
顾长志、杨海方、李俊杰、刘前、王益群、樊阳波 |
| 页数： |
12页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
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