电子工业用氟化氢中杂质的测定 色谱法 |
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| 标准编号：DB13/T 5874-2023 |
标准状态：已废止 |
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| 标准价格：0.0 元 |
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本文件规定了电子工业用氟化氢中杂质的测定原理、试剂或材料、仪器设备、样品、测定步骤及结果处理等。
本文件适用于电子工业用氟化氢中氢气、氧气+氩气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳的测定。
氢气、氧气+氩气、氮气、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量测定的检出限不大于0.01×10-6（体积分数）。 |
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本文件按照GB/T 1.1—2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由邯郸市市场监督管理局提出。
本文件起草单位：中船（邯郸）派瑞特种气体有限公司。
本文件主要起草人： 殷越玲、郑秋艳、柳彤、李帅楠、崔雯、刘海芳、袁攀攀。 |
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下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T 4844 纯氦、高纯氦和超纯氦
GB/T 28726 气体分析 氦离子化气相色谱法 |
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