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| 英文名称： |
Electronic gas—Tetrafluoromethane |
 中标分类： |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
| ICS分类： |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2024-04-25 |
| 实施日期： |
2024-11-01
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| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 起草单位： |
浙江省化工研究院有限公司、昊华气体有限公司、杭氧集团股份有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体有限公司、广东华特气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、浙江巨化技术中心有限公司、中化蓝天氟材料有限公司、江西华特电子化学品有限公司、福建久策气体股份有限公司等 |
| 起草人： |
史婉君 王娟 张琦炎 罗霞 胡迎 付梦月 李企真 朱晓平 王占卫 袁瑞玲 傅铸红 陈艳珊 马建修 陈程 褚人财 李霞 何西 禹金龙 曹素英 何经余 沈琦 郭华轩 王新喜 孙猛 沈益军 潘金平 洪倩 石林 吕博文 万娟秀 朱明 谈益强 刘亮 张朋越 陈洁 吴靓 方华 郑新蕊 何波 黄小强 黄辉等 |
| 页数： |
16页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |