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| 英文名称： |
Test method for semiconductor equipment reliability,availability and maintainability(RAM) |
| 标准状态： |
即将实施 |
 替代情况： |
替代GB/T 24468-2009 |
| 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>电子测量与仪器>>L85电子测量与仪器综合 |
| ICS分类： |
计量学和测量、物理现象>>长度和角度测量>>17.040.30测量仪器仪表 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2025-10-05 |
| 实施日期： |
2026-05-01
即将实施 距离实施日期还有103天 |
| 提出单位： |
全国半导体设备与材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 归口单位： |
全国半导体设备与材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 起草单位： |
中国电子技术标准化研究院、北方华创科技集团股份有限公司、中芯国际集成电路制造(上海)有限公司、青岛思锐智能科技股份有限公司、北京京仪自动化装备技术股份有限公司、星奇(上海)半导体有限公司、常熟市兆恒众力精密机械有限公司、上海隐冠半导体技术有限公司等 |
| 起草人： |
南江、任翔、纪安宽、菅端端、兰立广、倪昊、聂翔、张丛、卓祖亮、于浩、周亮、齐英、杨绍辉、刘吉军、罗中平、李鹏抟、温烈阳、江旭初、王振华、汤成燕、陶近翁、王向荣、陈颖祥、张学莹、魏家琦、曹志强、张星星、刘飞、钟华、郑瑜谦、王成鑫、张寅、钱文方、杨仕品等 |
| 页数： |
36页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |