电子工业用气体 氮 |
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| 标准编号：GB/T 16944-1997 |
标准状态：已作废 |
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| 标准价格：8.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了电子工业用液态和气态氮的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于从分离空气或氨还原法制得的氮，在超大规模集成电路制造中用作净化、覆盖、保护、加压，也用于化学气相淀积时的载气等。 |
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