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| 英文名称： |
Method for determination of particles in electronic grade gases-Light scattering method |
| 标准状态： |
已废止 |
 中标分类： |
综合>>标准化管理与一般规定>>A01技术管理 |
| 采标情况： |
SEMI标准 NEQ |
| 发布部门： |
中华人民共和国电子工业部 |
| 发布日期： |
1987-04-06 |
| 实施日期： |
1988-01-01
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| 作废日期： |
2010-01-20
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| 提出单位： |
中国电子学会洁净技术学会 |
| 起草单位： |
电子工业部标准化研究所 |
| 起草人： |
周定华、杜俊英、赵长春 |
| 页数： |
7页 |
| 出版社： |
电子工业出版社 |
| 出版日期： |
1988-01-01 |
| 标准前页： |
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