标准分类  最新标准New!  标准公告 标准动态  标准论坛  高级查询 帮助 | 登录 | 注册  共找到33条相关标准，现行18，作废13，废止1，未实施1，耗时0.126秒 收藏本站  联系客服

标准编号 标准名称 发布部门 实施日期 状态  GB 12964-1991  硅单晶抛光片 1992-03-01 作废  GB/T 12964-1996  硅单晶抛光片 1997-04-01 作废  GB/T 12964-2003  硅单晶抛光片 国家质量监督检验检疫. 2004-01-01 作废  GB/T 12964-2018  硅单晶抛光片 国家市场监督管理总局. 2019-06-01 现行  GB/T 17169-1997  硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法 国家技术监督局 1998-08-01 作废  GB/T 19921-2005  硅抛光片表面颗粒测试方法 国家质量监督检验检疫. 2006-04-01 作废  GB/T 19921-2018  硅抛光片表面颗粒测试方法 国家市场监督管理总局. 2019-07-01 现行  GB/T 26070-2010  化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法 国家质量监督检验检疫. 2011-10-01 现行  GB/T 29506-2013  300mm 硅单晶抛光片 国家质量监督检验检疫. 2014-02-01 现行  GB/T 30656-2014  碳化硅单晶抛光片 国家质量监督检验检疫. 2015-09-01 作废  GB/T 30656-2023  碳化硅单晶抛光片 国家市场监督管理总局. 2023-10-01 现行  GB/T 30858-2014  蓝宝石单晶衬底抛光片 国家质量监督检验检疫. 2015-04-01 现行  GB/T 31351-2014  碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法 国家质量监督检验检疫. 2015-09-01 现行  GB/T 35305-2017  太阳能电池用砷化镓单晶抛光片 国家质量监督检验检疫. 2018-07-01 现行  GB/T 4058-1995  硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法 国家技术监督局 1995-01-02 作废  GB/T 4058-2009  硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 现行  GB/T 41325-2022  集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片 国家市场监督管理总局. 2022-10-01 现行  GB/T 43313-2023  碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试 共焦点微分干涉法 国家市场监督管理总局. 2024-06-01 即将实施  GB 6621-1986  硅抛光片表面平整度的非接触式测试方法 1987-07-01 作废  GB/T 6621-1995  硅抛光片表面平整度测试方法 国家技术监督局 1995-01-02 作废  GB 6622-1986  硅化学抛光片漩涡缺陷和条纹的测试方法 1987-07-01 作废  GB 6623-1986  硅抛光片表面热氧化层错的测试方法 1987-07-01 作废  GB 6624-1986  硅抛光片表面质量目测检验方法 1987-07-01 作废  GB/T 6624-1995  硅抛光片表面质量目测检验方法 国家技术监督局 1995-01-02 作废  GB/T 6624-2009  硅抛光片表面质量目测检验方法 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 现行

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