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标准编号 标准名称 发布部门 实施日期 状态
 SJ/T 31090-1994  6-CTVH-B切割机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
 SJ/T 31091-1994  晶片内圆切片机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 现行
 SJ/T 31092-1994  晶片数控切割(划片)机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 现行
 SJ/T 31093-1994  陶瓷劈刀外圆磨床完好要求和检查评定方法 1997-01-01 现行
 SJ/T 31094-1994  CLP-30陶瓷劈刀研磨机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
 SJ/T 31095-1994  劈刀研磨装置完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
 SJ/T 31096-1994  精密硅片磨床完好要求和检查评定方法 1997-01-01 现行
 SJ/T 31097-1994  TDH-4C4TO型去飞边机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
 SJ/T 31098-1994  LH型液体去飞边机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
 SJ/T 31099-1994  倒角机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 现行
 SJ 3110-1988  冷冲模 Ⅰ型固定导板模纵向送料垫板 1988-10-01 废止
 SJ/T 31100-1994  离子束蚀刻机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 现行
 SJ/T 31101-1994  贴片机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 现行
 SJ/T 31102-1994  142型翻版机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
 SJ/T 31103-1994  786-HT型分选机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
 SJ/T 31104-1994  分选机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
 SJ/T 31105-1994  DRS-Ⅱ840型激光修版机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
 SJ/T 31106-1994  PPT-10型膜片成型机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
 SJ/T 31107-1994  ZDS-1型电泳机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
 SJ/T 31108-1994  CG3000型单晶炉完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
 SJ/T 31109-1994  高压单晶炉完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
 SJ 3111-1988  冷冲模 Ⅰ型固定导板模纵向送料固定板 1988-10-01 废止
 SJ/T 31110-1994  AMV-1284型硅外延炉完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
 SJ/T 31111-1994  AMC-7811/21型桶式外延炉完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
 SJ/T 31112-1994  WGK型微控扩散系统完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
 SJ/T 31113-1994  DB-3型电子束曝光机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
 SJ/T 31114-1994  TY系列辊道推板窑完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
 SJ/T 31115-1994  精缩机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
 SJ/T 31116-1994  PLA-501F型光刻机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
 SJ/T 31117-1994  15B型磨片机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
 SJ/T 31118-1994  RS-H80H型外圆 磨机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
 SJ/T 31119-1994  掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 现行
 SJ 3112-1988  冷冲模 Ⅰ型固定导板模横向送料上模座 1988-10-01 废止
 SJ/T 31120-1994  KSM-MJB3型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
 SJ/T 31121-1994  JB-VⅡ型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
 SJ/T 31122-1994  四探针测试仪完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
 SJ/T 31123-1994  自动多探针测试台完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
 SJ/T 31124-1994  AEC-2200型常压CVD完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
 SJ/T 31125-1994  PET-5500型常压CVD完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
 SJ/T 31126-1994  YL-1型MOCVD设备完好要求和检查评定方法 1997-01-01 废止
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