SJ/T 11181-1998 净化涂胶台通用规范电子行业标准(SJ)-工标网

高级查询

您的位置:工标网 >> 电子行业标准(SJ) >> SJ/T 11181-1998

标准简介

本标准规定了净化涂胶台(以下简称涂胶台)的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。
本标准适用于制造半导体集成电路专用的净化涂胶设备,其它类型的涂胶设备也可参照使用。


英文名称：	General specification for resist-coating stage with purified room
标准状态：	已废止
替代情况：	公告：中华人民共和国工业和信息化部公告 2024年第17号
中标分类：	医药、卫生、劳动保护>>医药、卫生、劳动保护综合>>C01技术管理
ICS分类：	电子学>>31.020电子元件综合
发布日期：	1998-03-11
实施日期：	1998-05-01
作废日期：	2024-07-11
复审日期：	2024-07-11
页数：	9页

相关搜索：净化涂胶台

技术管理相关标准	第1页第2页第3页第4页第5页更多>>
SJ/T 11131-1997 蒸发镀膜设备基本参数系列
SJ/T 10557.4-1994 电解电容器用铝箔化学分析方法原子吸收分光光度法测定铜、铁、锌、锰和镁量
SJ/T 10557.2-1994 高压电解电容器用铝箔晶粒织构测量方法
SJ 2131-1982 洁净工作台通用技术条件
SJ/T 10387-1993 ＳＤＣ系列塑料表面电晕处理设备通用技术条件
SJ/T 10242-1991 铝电解电容器用橡胶密封塞技术条件
DB31/T 1245-2020 医疗应急救援车载移动医院车辆管理要求
DB31/T 791-2014 药品生产质量管理系统信息技术规范
DB31/T 930-2015 非织造产品(医卫、清洁、个人防护、保健)碳排放计算方法
DB33/T 2170-2018 成人预防接种门诊规范
免费下载技术管理标准相关目录

电子元件综合相关标准	第1页第2页第3页第4页
GB 11296-1989 红外探测材料型号命名方法
GB/T 11297.1-1989 激光棒波前畸变的测量方法
GB 11297.10-1989 热释电材料居里温度Tc的测试方法
GB/T 11297.10-2015 热释电材料居里温度Tc的测试方法
GB 11297.11-1989 热释电材料介电常数的测试方法
GB/T 11297.11-2015 热释电材料介电常数的测试方法
GB 11297.12-1989 电光晶体铌酸锂、磷酸二氢钾和磷酸二氘钾消光比的测量方法
GB/T 11297.8-2015 热释电材料热释电系数的测试方法
GB/T 11297.9-2015 热释电材料介质损耗角正切tanδ的测试方法
GB/T 12273-1996 石英晶体元件电子元器件质量评定体系规范第1部分:总规范
免费下载电子元件综合标准相关目录

发表留言

客服中心

有问题？找在线客服

温馨提示：标准更新替换较快，请注意您购买的标准时效性。

常见问题

您可能还需要

必备软件下载

Adobe Acrobat Reader 是一个查看、阅读和打印PDF文件的最佳工具，通过它可以查阅本站的标准文档

搜索更多

购书咨询:0898-3137-2222/13876321121 客服热线:400-7255-888 (工作日8:30-18:00、节假日9:00-17:00)