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| 英文名称： |
Vacuum technology-Piezoresistive silicon chip vacuum gauge |
 替代情况： |
J78 |
| 中标分类： |
机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备 |
| ICS分类： |
流体系统和通用件>>23.160真空技术 |
| 发布部门： |
国家发展和改革委员会 |
| 发布日期： |
2006-05-06 |
| 实施日期： |
2006-10-01
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| 提出单位： |
中国机械工业联合会 |
| 归口单位： |
全国真空技术标委会 |
| 起草单位： |
沈阳真空技术研究所 |
| 起草人： |
吴春阳、苏玉萍、付晓东、王晓莉 |
| 页数： |
11页 |
| 出版社： |
机械工业出版社 |
| 书号： |
15111·7788 |
| 标准前页： |
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