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| 英文名称： |
Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability availability and maintainability(RAM) |
 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>电子测量与仪器>>L85电子测量与仪器综合 |
| ICS分类： |
计量学和测量、物理现象>>长度和角度测量>>17.040.30测量仪器仪表 |
| 采标情况： |
SEMI E10-0304:2004 MOD |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2009-10-15 |
| 实施日期： |
2009-12-01
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| 首发日期： |
2009-10-15 |
| 提出单位： |
全国半导体设备与材料标准化技术委员会 |
| 归口单位： |
全国半导体设备与材料标准化技术委员会 |
| 主管部门： |
国家标准化管理委员会 |
| 起草单位： |
中国电子技术标准化研究所 |
| 起草人： |
黄英华、刘筠、张建勇、蒋迪宝 |
| 计划单号： |
20068064-T-469 |
| 页数： |
36页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2009-12-01 |