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真空溅射镀膜设备

国家标准
标准编号:JB/T 8945-2010 标准状态:现行
标准价格:10.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了真空溅射镀膜设备的基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。
本标准适用于压力在1×10-1Pa~1×10-3Pa范围的真空溅射镀膜设备。
英文名称:  Vacuum sputtering coating plant
什么是替代情况? 替代情况:  替代JB/T 8945-1999
什么是中标分类? 中标分类:  机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备
什么是ICS分类?  ICS分类:  流体系统和通用件>>23.160真空技术
发布部门:  中华人民共和国工业和信息化部
发布日期:  2010-02-11
实施日期:  2010-07-01
什么是归口单位? 归口单位:  全国真空技术标委会
起草单位:  广东中环真空设备有限公司;成都南光机器有限公司;大连远东真空技术有限公司;沈阳真空技术研究所
出版社:  机械工业出版社
出版日期:  2010-07-01
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