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| 英文名称: |
Gases for electronic industry—Arsine |
| 标准状态: |
已作废 |
替代情况: |
被GB/T 26250-2025代替 |
中标分类: |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
ICS分类: |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 发布部门: |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期: |
2011-01-14 |
| 实施日期: |
2011-05-01
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| 作废日期: |
2025-11-01
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| 首发日期: |
2011-01-14 |
| 提出单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
归口单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1) |
| 主管部门: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC 203/SC 1) |
| 起草单位: |
西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院 |
| 起草人: |
孙福楠、方华、周鹏云、庄鸿涛、李建浩 |
| 页数: |
12页 |
| 出版社: |
中国标准出版社 |
| 出版日期: |
2011-05-01 |