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| 英文名称： |
Test method for measurement of insulator thickness and refractive index on silicon substrates by ellipsometry |
 中标分类： |
冶金>>有色金属及其合金产品>>H68贵金属及其合金 |
| ICS分类： |
冶金>>有色金属>>77.120.99其他有色金属及其合金 |
| 发布部门： |
中华人民共和国工业和信息化部 |
| 发布日期： |
2012-11-07 |
| 实施日期： |
2013-03-01
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| 归口单位： |
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243) |
| 主管部门： |
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243) |
| 起草单位： |
中国计量科学研究院、有研半导体材料股份有限公司、瑟米莱伯贸易(上海)有限公司 |
| 起草人： |
高英、武斌、孙燕、徐继平、徐自亮、黄黎 |
| 页数： |
12页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 书号： |
155066·2-24299 |
| 出版日期： |
2013-03-01 |