电子工业用气体 氯化氢 |
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| 标准编号：GB/T 14602-2014 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：29.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了氯化氢的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全。
本标准适用于以工业氯化氢为原料,采用纯化制得的氯化氢产品。该产品主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺,也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。
分子式:HCl。
相对分子质量:36.458(按2009年国际相对原子质量计算)。 |
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| 英文名称： |
Gases for electronic industry—Hydrogen chloride |
 替代情况： |
替代GB/T 14602-1993;GB/T 24469-2009 |
| 中标分类： |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
| ICS分类： |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2014-12-22 |
| 实施日期： |
2015-07-01
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| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203) |
| 起草单位： |
北京华宇同方化工科技开发有限公司、西南化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、光明化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟科技有限公司 |
| 起草人： |
张吉瑞、孙福楠、杜汉盛、方华、周鹏云、杨任 |
| 页数： |
12页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2015-07-01 |
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本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准代替 GB/T14602—1993《电子工业用气体 氯化氢》、GB/T24469—2009《电子工业用气体 5N氯化氢》。与 GB/T14602—1993、GB/T24469—2009相比,除编辑性修改外主要技术变化如下:
———修改了范围(见第1章,1993年版的第1章、GB/T24469—2009的第1章);
———修改了规范性引用文件(见第2章,1993年版的第2章、GB/T24469—2009的第2章);
———修改了技术要求(见第3章,1993年版的第3章、GB/T24469—2009的第3章);
———修改了抽样、判定(见4.1,1993年版的第5章、GB/T24469—2009的第5章);
———修改了氧+ 氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、烃含量的测定方法(见 4.3,1993 年版的 4.2、4.3、GB/T24469—2009的4.3、4.5);
———删除了氢含量的测定方法(见1993年版的4.5);
———修改了水分含量的测定方法(见4.4,1993年版的4.4、GB/T24469—2009的4.4);
———修改了金属元素含量的测定方法(见4.5,GB/T24469—2009的4.6);
———修改了标志、包装、贮运及安全(见第5章,1993年版的第6章、第7章、GB/T24469—2009的第6章、第7章、第8章)。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:北京华宇同方化工科技开发有限公司、西南化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、光明化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟科技有限公司。
本标准主要起草人:张吉瑞、孙福楠、杜汉盛、方华、周鹏云、杨任。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
———GB/T14602—1993、GB/T24469—2009。 |
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下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
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气瓶安全监察规程(2000版)
危险化学品安全管理条例(2002版)
特种设备安全监察条例(2009版) |
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