|
| 英文名称： |
Electronic specialty gas—Phosphine |
| 标准状态： |
即将实施 |
 替代情况： |
替代GB/T 14851-2009 |
| 中标分类： |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
| ICS分类： |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2025-03-28 |
| 实施日期： |
2025-10-01
即将实施 距离实施日期还有117天 |
| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 起草单位： |
西南化工研究设计院有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、上海正帆科技股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、福建久策气体股份有限公司、中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、湖北和远气体股份有限公司等 |
| 起草人： |
孙福楠、曾庆腾、李东升、傅铸红、王百林、曹素英、何经余、沙婷、倪珊珊、万娟秀、朱明、王新喜、孙猛、戴玺、徐孝天、方强、孙建、施旖旎、赵趫、郑新权、陈洁、吴靓、方华、李扬、杨康、唐中伟、黄辉、施卫丰、姜阳、李春华、宫兵、王大为、易达文、李阳、梁永强、梁成科 |
| 页数： |
12页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |