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电子工业用气体 氦

国家标准
标准编号:GB/T 16943-1997 标准状态:已作废
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标准简介
标准规定了电子工业用氦气的技术要求、检验方法以及包装、标志等,适用于以深冷法从天然气、空气或工厂弛放气提取的高纯度氦,在半导体及其器件生产中用作清洗气、加压气,也用作载气和保护气等。
英文名称:  Gases for electronic industry--Helium
标准状态:  已作废
什么是替代情况? 替代情况:  被GB/T 16943-2009代替
什么是中标分类? 中标分类:  化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
什么是ICS分类?  ICS分类:  化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
什么是采标情况? 采标情况:  ≡SEMI C3.20-92
发布部门:  国家技术监督局
发布日期:  1997-08-13
实施日期:  1998-05-01
作废日期:  2010-05-01
首发日期:  1997-08-13
复审日期:  2004-10-14
什么是归口单位? 归口单位:  全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门:  国家标准化管理委员会
起草单位:  化学工业部西南化工研究院
页数:  平装16开, 页数:6, 字数:7千字
出版社:  中国标准出版社
书号:  155066.1-14391
出版日期:  2004-04-11
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本标准相关公告
·中华人民共和国国家标准批准发布公告2009年第12号(总第152号) [2009-11-17]

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