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 您的位置:工标网 >> 有色金属行业标准(YS) >> YS/T 1059-2015

硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法

国家标准
标准编号:YS/T 1059-2015 标准状态:现行
标准价格:16.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规定了硅外延用三氯氢硅中总碳含量的气相色谱测定方法。
本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定,测定范围为0.00005%~0.005%。
英文名称:  Determination of total carbon content in trichlorosilane for silicon eqitaxy—Gas chromatographic method
什么是中标分类? 中标分类:  冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  冶金>>金属材料试验>>77.040.30金属材料化学分析
发布部门:  中华人民共和国工业和信息化部
发布日期:  2015-04-30
实施日期:  2015-10-01
提出单位:  全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
什么是归口单位? 归口单位:  全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
主管部门:  全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
起草单位:  中锗科技有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新特能源股份有限公司
起草人:  刘英杰、郑华荣、柯尊斌、刘新军、赵建为、王桃霞、张京、张云晖、杨红燕、陈喜清、杨帅
页数:  12页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2015-10-01
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前言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。
本标准起草单位:中锗科技有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新特能源股份有限公司。
本标准主要起草人:刘英杰、郑华荣、柯尊斌、刘新军、赵建为、王桃霞、张京、张云晖、杨红燕、陈喜清、杨帅。

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