表面化学分析 工作参考物质中离子注入产生的驻留面剂量定值的推荐程序 |
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| 标准编号：GB/T 34174-2017 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：43.0 元 |
客户评分：  |
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对表面分析用的工作参考物质（WoRM)中离子注入原子序数大于硅的分析物元素，本标准规定了对其驻留面剂量进行定值的程序。WoRM为组成均匀的、标称直径不小于50 mm的抛光（或类似磨面)基片（也称作基片)，并已离子注入一种基片上不存在的某种化学元素的同位素（也称作分析物)，其标称面剂量范围通常为1016 atoms/cm2至1013 atoms/cm2（即半导体技术中最感兴趣的范围)。WoRM晶片中离子注入分析物的面剂量，是通过与二级参考物质（SeRM)硅片中注入相同分析物的驻留面剂量比较而进行定值的。本标准提供了WoRM定值的概念和程序方面的信息。同时也有对参考物质要求、比较测量和实际定值的描述。离子注入、离子注入剂量术、波长色散X射线荧光光谱和无法得到SeRM时的无证替代物的补充材料见附录A到附录D。定值过程中产生的不确定度来源和数值见附录E。 |
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| 英文名称： |
Surface chemical analysis—Proposed procedure for certifying the retained areic dose in a working reference material produced by ion implantation |
 中标分类： |
化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法 |
| ICS分类： |
化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析 |
| 发布部门： |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2017-09-07 |
| 实施日期： |
2018-08-01
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| 提出单位： |
全国微束分析标准化技术委员会 |
| 归口单位： |
全国微束分析标准化技术委员会 |
| 起草单位： |
中国科学院化学研究所、中国石化石油化工科学研究院、国家纳米科学中心 |
| 起草人： |
邱丽美、刘芬、徐鹏、刁玉霞、赵志娟、章小余 |
| 页数： |
24页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2017-09-01 |
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