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英文名称: |
Determination of metal content in gases—Inductively coupled plasma mass spectrometry method |
中标分类: |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
ICS分类: |
化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析 |
发布部门: |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
发布日期: |
2017-11-01 |
实施日期: |
2018-05-01
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提出单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
归口单位: |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
起草单位: |
上海市计量测试技术研究院、西南化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、广东华特气体股份有限公司、北京华宇同方化工科技开发有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司 |
起草人: |
陈鹰、姜阳、周鹏云、牛艳东、傅铸红、杜汉盛、江罗、许军洲、方华、常侠 |
页数: |
12页 |
出版社: |
中国标准出版社 |