工标网 回首页
标准分类  最新标准New!  标准公告 标准动态  标准论坛
 高级查询
帮助 | 登录 | 注册
查标准上工标网 免费查询标准最新替代作废信息
 您的位置:工标网 >> >> GB/T 36053-2018

X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告

国家标准
标准编号:GB/T 36053-2018 标准状态:现行
标准价格:54.0 客户评分:星星星星1
立即购买工即可享受本标准状态变更提醒服务!
点击放入购物车 如何购买?问客服 放入收藏夹,免费跟踪本标准更替信息! 参与评论本标准
标准简介
本标准规定了通过X射线反射技术(XRR)来测量平面衬底上厚度介于约1 nm至1 μm之间的单层和多层薄膜的厚度、密度和界面宽度的方法。
本方法使用单色化的平行光进行角度或散射矢量扫描。类似的考虑事项适用于使用分布式探测器进行平行数据采集的会聚光束或者扫描波长的情形,但本标准不描述这些方法。对于X射线漫反射技术而言,实验要求是相似的,但本标准不包括这部分内容。
  
  测量可在具有不同配置的设备上进行。这些设备包含实验室仪器、同步辐射光束线上的反射率计以及工业中的自动系统等。
应注意的是,数据采集时,薄膜可能存在的不稳定性将会引起测量结果准确度下降。XRR使用单波长入射X射线束、不能提供薄膜的化学信息,因此应注意样品表面可能产生的污染或反应。表面变化会严重影响最外层薄膜测量结果的准确性。
英文名称:  Evaluation of thickness,density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements,alignment and positioning,data collection,data analysis and reporting
什么是中标分类? 中标分类:  化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析
什么是采标情况? 采标情况:  ISO 16413:2013 IDT
发布部门:  中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:  2018-03-15
实施日期:  2019-02-01
提出单位:  全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
什么是归口单位? 归口单位:  全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
主管部门:  全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
起草单位:  中国计量科学研究院
起草人:  王海、王梅玲、张艾蕊、宋小平
页数:  32页
出版社:  中国标准出版社
出版日期:  2018-03-01
  [ 评论 ][ 关闭 ]
本标准相关公告
·中华人民共和国国家标准批准发布公告2018年第3号 [2018-03-15]

基础标准与通用方法相关标准 第1页 第2页 第3页 第4页 第5页 
 GB/T 36401-2018 表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告
 GB/T 36504-2018 印刷线路板表面污染物分析 俄歇电子能谱
 GB/T 36533-2018 硅酸盐中微颗粒铁的化学态测定 俄歇电子能谱法
 GB 3723-1983 工业用化学产品采样安全通则
 GB/T 3723-1999 工业用化学产品采样安全通则
 GB/T 37664.1-2019 纳米制造 关键控制特性 发光纳米材料 第1部分:量子效率
 GB/T 38531-2020 微束分析 致密岩石微纳米级孔隙结构计算机层析成像(CT)分析方法
 GB/T 38532-2020 微束分析 电子背散射衍射 平均晶粒尺寸的测定
 GB/T 40109-2021 表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法
 GB/T 40110-2021 表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定硅片表面元素污染
 免费下载基础标准与通用方法标准相关目录

化学分析相关标准 第1页 第2页 第3页 第4页 第5页 更多>> 
 GB/T 36083-2018E 纳米技术 纳米银材料 生物学效应相关的理化性质表征指南(英文版)
 GB/T 37182-2018 气体分析 等离子发射气相色谱法
 GB/T 37185-2018 气体分析 室内挥发性有害有机物的测定SUMMA罐-硅烷化管采样气相色谱/质谱联用(GC/MS)法
 GB/T 37186-2018 气体分析 二氧化硫和氮氧化物的测定 紫外差分吸收光谱分析法
 GB/T 37883-2019 水处理剂中铬、镉、铅、砷含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱(ICP-OES)法
 GB/T 38261-2019 纳米技术 生物样品中银含量测量 电感耦合等离子体质谱法
 GB/T 38261-2019E 纳米技术 生物样品中银含量测量 电感耦合等离子体质谱法(英文版)
 GB/T 39765-2021 文具中苯、甲苯、乙苯及二甲苯的测定方法 气相色谱法
 GB/T 40128-2021 表面化学分析 原子力显微术 二硫化钼片层材料厚度测量方法
 GB/T 40129-2021 表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪质量标校准
 免费下载化学分析标准相关目录

 发表留言
内 容
  用户:   口令:  
 
 
客服中心
有问题?找在线客服 点击和客服交流,我们的在线时间是:工作日8:30至18:00,节假日;9:00至17:00。工标网欢迎您和我们联系!
未开通400地区或小灵通请直接拨打0898-3137 2222 400-7255-888
客服QQ 1197428036 992023608
MSN或电子邮件 18976748618 13876321121
温馨提示:标准更新替换较快,请注意您购买的标准时效性。
常见问题 帮助中心
我为什么找不到我想要的标准?
配送范围、配送时间和收费标准
如何付款,支持哪些付款方式?
必备软件下载
Adobe Acrobat Reader 是一个查看、 阅读和打印PDF文件的最佳工具,通 过它可以查阅本站的标准文档
pdf下载
搜索更多
google 中搜索:GB/T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
baidu 中搜索:GB/T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
yahoo 中搜索:GB/T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
soso 中搜索:GB/T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
中搜索:GB/T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
 
付款方式 - 关于我们 - 帮助中心 - 联系我们 - 诚聘英才 - 合作伙伴 - 使用条款
QQ:1197428036 992023608 有问题? 联系在线客服
Copyright © 工标网 2005-2023,All Right Reserved