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| 英文名称： |
Electronic specialty gas—Fluoromethane |
 中标分类： |
化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体 |
| ICS分类： |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2021-08-20 |
| 实施日期： |
2022-03-01
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| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 起草单位： |
浙江省化工研究院有限公司、昊华气体有限公司、中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司、衢州氟硅技术研究院、中化蓝天氟材料有限公司、福建久策气体股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、江西华特电子化学品有限公司、苏州金宏气体股份有限公司等 |
| 起草人： |
史婉君、张建君、方小青、孙福楠、付梦月、侯玲玲、郑秋艳、董云海、谭慧、褚人财、颜光清、何经余、曹素英、傅铸红、陈艳珊、马建修、程紧、叶相平、王新喜、孙猛、陈洁、吴靓、方华、孙赟珑、何波、黄小强、黄辉、宫兵、王大为、易达文、李阳、梁永强、梁成科、高静等 |
| 页数： |
16页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |