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| 英文名称： |
Terminology for integrated circuit(IC) manufacturing equipment |
 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L95电子工业生产设备综合 |
| ICS分类： |
电子学>>31.220电子电信设备用机电零部件 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2021-10-11 |
| 实施日期： |
2022-05-01
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| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) |
| 起草单位： |
中国电子技术标准化研究院、浙江晶盛机电股份有限公司、中电科电子装备集团有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、中微半导体设备(上海)股份有限公司、上海微电子装备(集团)股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、江苏卓远半导体有限公司 |
| 起草人： |
张军华、冯亚彬、曹可慰、曹建伟、裴会川、朱亮、周哲、武小娟、杜若昕、唐彩红、丁晓民、傅林坚、魏唯、田涛、刘英斌、李国平、王宏智 |
| 页数： |
60页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2021-10-01 |