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洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁

国家标准
标准编号:GB/T 25915.13-2022 标准状态:现行
标准价格:54.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本文件提供了洁净室表面、设备表面和材料表面达到所需洁净度的清洁指导。本文件中的表面涉及所有表面(外表面、内表面)。本文件提供评估达到表面洁净度的粒子浓度(SCP)和表面化学洁净度的化学物浓度(SCC)洁净度的所需清洁方法,以及达到规定洁净度宜考虑的清洁技术。ISO 14644.9和ISO 14644.10给出了清洁技术的适宜率和相关检测方法。本文件包含以下一般性指南:--表面目标洁净度等级;--清洁方法的适用性;--表面与清洁技术的相容性;--清洁方法适宜度的评估。本文件不包含以下事项:--清洁方法的分类;--洁净室内生产的产品;--与特定表面相关的具体清洁方法;--各种清洁方法的清洁机制、具体方法和规程的详细说明;--材料特性的详细说明;--清洁工序和清洁时间对表面破坏的机制;--污染物与表面间的黏附力,以及通常与时间和工艺相关的黏附过程;--粒子的其他特性,如静电、离子等;--分子污染物与表面的化学反应;--表面微生物;--放射性污染;--健康、安全;--环境因素,如:废物处理、排放等;--统计方法的选用。
英文名称:  Cleanrooms and associated controlled environments—Part 13:Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications
什么是中标分类? 中标分类:  医药、卫生、劳动保护>>劳动安全技术>>C70工业防尘防毒技术
什么是ICS分类?  ICS分类:  13.040.35
什么是采标情况? 采标情况:  ISO 14644-13:2017
发布部门:  国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
发布日期:  2022-12-30
实施日期:  2023-07-01
提出单位:  全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)
什么是归口单位? 归口单位:  全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)
起草单位:  深圳市丽风净化工程有限公司、吴江市华宇净化设备有限公司、中电精泰电子工程有限公司、苏州市计量测试院、江苏嘉合洁净科技有限公司、中国电子系统工程第四建设有限公司、天津大学、中国电子工程设计院有限公司、中国电子系统工程第二建设有限公司、中国标准化协会等
起草人:  史苏娟、张秀春、孙玉澄、童广才、李金平、刘俊杰、郝胤博、左中杰、石小雷、冯昕、高正、胡茂从、陈思源、周斌、黄吉辉、韩辉、余小彪、邵森、刘璐、畅金学、温晓辉、杨鹏举、史婷、刘震、张旋、仝娜杰、刘永、杨云涛
页数:  32页
出版社:  中国标准出版社
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