半导体制程8英寸（200mm）12英寸（300mm）用石英玻璃炉管 |
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| 标准编号：T/CEMIA 033-2023 |
标准状态：现行 |
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| 标准价格：26.0 元 |
客户评分：  |
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本文件规定了半导体制程8英寸（200 mm）12英寸（300 mm）用石英玻璃炉管的术语和定义，分类和产品结构，技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、贮存和运输。
本文件适用于半导体扩散工艺制程8英寸（200 mm）12英寸（300 mm）用石英玻璃炉管制品，包含石英外管、石英内管、石英工艺管及石英双层管（以下简称“石英玻璃炉管”），不适用于14 nm及以下半导体制程用石英玻璃炉管。 |
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| 英文名称： |
Quartz glass tube for 8 in 12 in Semiconductor Process |
 中标分类： |
电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料 |
| ICS分类： |
31.030 |
| 发布部门： |
中国电子材料行业协会 |
| 发布日期： |
2023-06-08 |
| 实施日期： |
2023-09-08
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| 提出单位： |
中国电子材料行业协会 |
| 归口单位： |
中国电子材料行业协会 |
| 起草单位： |
上海强华实业股份有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司、北京凯德石英股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司 |
| 起草人： |
蓝呈、吕红兵、张婷婷、余韦华、周文华、周韦军、李军竹、芦英、杨慧萍、曹永友、张忠恕、王友军 |
| 页数： |
16页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
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