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集成电路材料产业技术创新联盟 气体基础规范

国家标准
标准编号:T/ICMTIA 1-2019 标准状态:现行
标准价格:29.0 客户评分:星星星星1
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标准简介
本标准规范了集成电路制造用气体的生产、研发和使用的管理要求及相关测试程序,是气体生产管理和使用的指南。
英文名称:  The Integrated Circuit Materials Industry Technology Innovative Alliance—Gas base specification
什么是中标分类? 中标分类:  化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法
什么是ICS分类?  ICS分类:  化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门:  中关村集成电路材料产业技术创新联盟
发布日期:  2019-04-17
实施日期:  2019-10-10
提出单位:  中关村集成电路材料产业技术创新联盟
什么是归口单位? 归口单位:  中关村集成电路材料产业技术创新联盟
起草单位:  中国船舶重工集团公司第七一八研究所,江苏南大光电材料股份有限公司,大连保税区科利德化工科技开发有限公司
起草人:  郑秋艳、李翔宇、丁成、孙江涛、计燕秋、孙建
出版社:  中国标准出版社
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