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| 英文名称: |
The Integrated Circuit Materials Industry Technology Innovative Alliance—Gas base specification |
中标分类: |
化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法 |
ICS分类: |
化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体 |
| 发布部门: |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 发布日期: |
2019-04-17 |
| 实施日期: |
2019-10-10
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| 提出单位: |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
归口单位: |
中关村集成电路材料产业技术创新联盟 |
| 起草单位: |
中国船舶重工集团公司第七一八研究所,江苏南大光电材料股份有限公司,大连保税区科利德化工科技开发有限公司 |
| 起草人: |
郑秋艳、李翔宇、丁成、孙江涛、计燕秋、孙建 |
| 出版社: |
中国标准出版社 |
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