电子材料晶片参考面长度测量方法 |
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| 标准编号：GB/T 13387-1992 |
标准状态：已作废 |
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| 标准价格：8.0 元 |
客户评分：  |
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本标准规定了电子材料晶片参考面长度的测量方法。本标准适用于测量各种直径的硅抛光片、研磨片和切割片的参考面长度。也适用于测量砷化镓、蓝宝石和钆镓石榴石等材料晶片的参考面长度。 |
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| 英文名称： |
Test method for measuring flat length on slices of electronic materials |
| 标准状态： |
已作废 |
 替代情况： |
被GB/T 13387-2009代替 |
| 中标分类： |
冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法 |
| ICS分类： |
29.040.30 |
| UDC分类： |
669.782-172-415;531.71 |
| 采标情况： |
＝ASTM F671 |
| 发布部门： |
国家技术监督局 |
| 发布日期： |
1992-02-19 |
| 实施日期： |
1992-10-01
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| 作废日期： |
2010-06-01
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| 首发日期： |
1992-02-19 |
| 复审日期： |
2004-10-14 |
| 归口单位： |
全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 主管部门： |
国家标准化管理委员会 |
| 起草单位： |
北京有色金属研究总院 |
| 页数： |
平装16开， 页数：7， 字数：9000 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 标准前页： |
浏览标准前文 || 下载标准前页 |
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