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标准编号 标准名称 发布部门 实施日期 状态  GB/T 13387-1992  电子材料晶片参考面长度测量方法 国家技术监督局 1992-10-01 作废  GB/T 13387-2009  硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 现行  GB/T 13840-1992  晶片承载器 国家技术监督局 1993-08-01 作废  GB/T 15713-1995  锗单晶片 国家技术监督局 1996-03-01 作废  GB/T 16595-1996  晶片通用网格规范 国家技术监督局 1997-04-01 作废  GB/T 16595-2019  晶片通用网格规范 国家市场监督管理总局. 2020-02-01 现行  GB/T 16596-1996  确定晶片坐标系规范 国家技术监督局 1997-04-01 作废  GB/T 16596-2019  确定晶片坐标系规范 国家市场监督管理总局. 2020-02-01 现行  GB/T 25188-2010  硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量 X射线光电子能谱法 国家质量监督检验检疫. 2011-08-01 现行  GB/T 26066-2010  硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法 国家质量监督检验检疫. 2011-10-01 现行  GB/T 26070-2010  化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法 国家质量监督检验检疫. 2011-10-01 现行  GB/T 26071-2018  太阳能电池用硅单晶片 国家市场监督管理总局. 2019-04-01 现行  GB/T 30118-2013  声表面波（SAW）器件用单晶晶片规范与测量方法 国家质量监督检验检疫. 2014-05-15 现行  GB/T 30866-2014  碳化硅单晶片直径测试方法 国家质量监督检验检疫. 2015-02-01 现行  GB/T 30867-2014  碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法 国家质量监督检验检疫. 2015-02-01 现行  GB/T 30868-2014  碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法 国家质量监督检验检疫. 2015-02-01 现行  GB/T 32278-2015  碳化硅单晶片平整度测试方法 国家质量监督检验检疫. 2017-01-01 现行  GB/T 32988-2016  人造石英光学低通滤波器晶片 国家质量监督检验检疫. 2017-09-01 现行  GB/T 34481-2017  低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度(EPD)的测量方法 国家质量监督检验检疫. 2018-07-01 现行  GB/T 5238-2009  锗单晶和锗单晶片 国家质量监督检验检疫. 2010-06-01 作废  GB/T 5238-2009E  锗单晶和锗单晶片(英文版) General Ad. 2010-06-01 作废  GB/T 5238-2019  锗单晶和锗单晶片 国家市场监督管理总局. 2020-05-01 现行  GB/T 6616-2023  半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法 国家市场监督管理总局. 2024-03-01 现行  JB/T 11276-2012  无损检测仪器 超声波探头型号命名方法 工业和信息化部 2012-11-01 现行  JJF(电子)0072-2021  非接触涡流法半导体晶片电阻率测试系统校准规范 工业和信息化部 2022-04-01 现行

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