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| 英文名称： |
Specification for establishing a wafer coordinate system |
 替代情况： |
替代GB/T 16596-1996 |
| 中标分类： |
冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合 |
| ICS分类： |
电气工程>>29.045半导体材料 |
| 发布部门： |
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： |
2019-03-25 |
| 实施日期： |
2020-02-01
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| 提出单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) |
| 归口单位： |
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2) |
| 起草单位： |
有色金属技术经济研究院、有研半导体材料有限公司、浙江海纳半导体有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、上海合晶硅材料有限公司 |
| 起草人： |
卢立延、孙燕、潘金平、杨素心、楼春兰、胡金枝、李素青 |
| 页数： |
8页 |
| 出版社： |
中国标准出版社 |
| 出版日期： |
2019-02-01 |